Oprema za proizvodnju i prečišćavanje azot oksida (N₂O) uspješno je puštena u rad 10. decembra 2023. Vlasnik, Suzhou Innovator Materials Co., Ltd., je kompanija specijalizirana za istraživanje i razvoj, proizvodnju i prodaju elektronskih specijalnih plinova, uključujući poluvodičke plinove, istraživanje i razvoj materijala i projekte lokalizacije. Njegovi proizvodi se uglavnom izvoze u Evropu, Ameriku, Maleziju, Tajland i druge regije.
Faza I projekta pokriva 28680㎡, sa godišnjom proizvodnjom od 6000 tona elektronskog azot oksida i 80 tona elektronskog mešovitog gasa. Projekat trenutno ima najveći proizvodni kapacitet u Kini, postižući potpunu lokalizaciju, čime se ubrzava brzi razvoj nacionalne industrije integrisanih kola.
Projekat proširenja faze II, označen kao ključni projekat pokrajine, zauzimaće približno 73370㎡ i izgradiće centar za istraživanje i razvoj i testiranje. Prvenstveno će se baviti istraživanjem i razvojem i ispitivanjem miješanih plinova, plinova fluorougljika, plinova prekursora i 37 vrsta specijalnih elektronskih plinova visoke -čistoće iznad 5N čistoće.
